Parylene-Beschichtungen sind sehr dünne, porenfreie Polymerschichten. Eingesetzt wird Parylene vor allem als Schutzschicht für empfindliche Bauteile in der Mikrotechnologie. Der Stoff ist ein hydrophobes, optisch transparentes, biokompatibles, polymeres Beschichtungsmaterial und lässt sich auf praktisch jede Art von Substrat auftragen. Das für unsere Anwendungen am häufigsten verwendete Polymer ist Parylene C (kurz: PPX-C).

So vielseitig und optimiert es als Schutzschicht geeignet zu sein scheint, so umständlich ist die Arbeit mit diesem Stoff. Es beginnt mit der Eigenschaft, dass es zwar theoretisch auf jede beliebige Oberfläche aufgetragen werden kann, die Haftfestigkeit jedoch oftmals zu wünschen übrig lässt.

Zu diesem Zweck muss das Substrat erst mit einer Silane-Schicht als Haftvermittler beschichtet werden  und bis zum eigentlichen Prozess erstmal 24 Stunden aushärten.  Dann wird in einem 14-stündigen Prozess das Parylene abgeschieden.

Dabei wird es als monomeres Pulver in die Anlage gegeben und dort bei mehreren hundert Grad verdampft.  Die einzelnen Moleküle verbinden sich dabei zu Dimeren. Bei Kontakt mit der Silane-Schicht bilden sich dann schließlich Polymerketten, welche sich optimalerweise ineinander verhaken und eine feste Oberfläche bilden. Das eigentliche Problem ist dann, dass es sehr schwierig ist, auf dieser Oberfläche eine weitere Schicht fest aufzubringen. Zwecks mangelnder Alternativen wird aber dennoch öfters auf diese Methode zurückgegriffen.

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